美國布魯克斯Brooks Instruments質(zhì)量流量控制器性能參數
流量范圍（滿(mǎn)量程容量）
3 SCCM - 5 SLM（N2當量）

壓力瞬變不敏感
<1％S.P.長(cháng)達5磅/秒的上游按下。穗

準確性
±1％S.P. 10-100％F.S.

±1％S.P.加上±0.04％F.S. 2-10％F.S.‘

重復性<±0.15％S.P.
線(xiàn)性度
包括在精度

響應時(shí)間
<300毫秒（<860 SCCM N2當量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當量）

（到±2％以?xún)?，FS）

<300毫秒（<860 SCCM N2當量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當量）

（到±2％以?xún)?，FS）

<300毫秒（<860 SCCM N2當量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當量）

（到±2％以?xún)?，FS）

多氣體和范圍可配置
-

控制范圍
1 - 100％

閥門(mén)關(guān)閉
<F.S. 0.5％ N2

零點(diǎn)穩定性<±0.5％F.S.每年
流量溫度系數
跨度：0.05％S.P./°C

零：0.005％F.S./°C

機械
密封材料
金屬

純度/表面處理4μ英寸鐳水平
接液材料
SEMI F20 HP標準

316L VIM / VAR

哈氏合金C-22

316L不銹鋼

304不銹鋼

KM-45

閥選
常閉

評級
很高溫度
50℃

差壓量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID

861 - 5000 SCCM = 10-45 PSID

*典型壓降。聯(lián)系方式布魯克斯技術(shù)支持以獲取更多信息。

最大壓力
100 PSIA最大

泄漏完整性1x10-10大氣壓毫升/秒他
診斷和顯示
診斷功能可用

狀態(tài)指示燈
MFC健康

網(wǎng)絡(luò )狀態(tài)

警報
傳感器輸出，控制閥輸出，超溫，防浪涌電源/凹陷，網(wǎng)絡(luò )中斷，傳感器漂移，流錯誤，閥門(mén)泄漏

診斷/服務(wù)端口
通過(guò)2.5毫米接口RS485

顯示
頂部安裝電子旋轉的整合LCD

可視角度：固定

視距：10英尺

單位顯示：流量（％），溫度（℃），壓力（PSIA，千帕）

分辨率：0.1（單位）

電動(dòng)
模擬通信
0-5伏

數字通信
的DeviceNet?

RS485

電氣連接
模擬/ RS485通過(guò)9針“D”連接器

的DeviceNet?通過(guò)5針“M12”連接器

電源/功耗
模擬/ RS485：6瓦最大@±15 VDC（±10％）或+24 VDC（±10％）

的DeviceNet?545 mA（最大值）@ + 11-25伏，最大250 mA @ 24伏直流電

（在典型的操作條件下）

合規
EMC
EC指令2004/108 / EC

CE：EN61326-1：2006（FCC第15部分和加拿大IC子集CE測試）

環(huán)境合規性
RoHS指令（2011/65/2006）

REACH指令EC 1907/2006

美國布魯克斯Brooks Instruments作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專(zhuān)門(mén)從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。

上海連航機電科技有限公司是國內專(zhuān)業(yè)的進(jìn)口機電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專(zhuān)注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進(jìn)口備品備件，提供過(guò)程控制技術(shù)咨詢(xún)，工業(yè)自動(dòng)化集成設計與改造，成套設備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應用及產(chǎn)品供應服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線(xiàn)性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來(lái)電咨詢(xún)。
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