COHERENT固體激光器PYTHON

PYTHON 降低了 OLED 平板顯示器生產(chǎn)中低溫多晶硅退火的成本，提高了產(chǎn)量。這是通過(guò)使用高可靠性、二極管泵浦、固態(tài)激光技術(shù)來(lái)準確復制 VYPER 準分子激光器的輸出來(lái)實(shí)現的，包括脈沖能量、重復率、光束大小和光束強度分布。PYTHON適用于現有的相干LineBeam 750、1000、1300和1500系統，幾乎無(wú)需修改現有的ELA流程。這可確保輕松過(guò)渡到這種可靠性更高、成本更低的激光源。

高可靠性

運行成本降低 50 %

無(wú)需更改記錄工藝

高能量穩定性

產(chǎn)地：美國

零件編號：2270257

波長(cháng)：355 nm

Max穩定脈沖能量：2000 mJ

Max穩定平均功率：1200 W

Max重復率：600 Hz

能量總和穩定性（sigma）：≤ 0.25 %

脈沖持續時(shí)間（FWHM）：30 ± 5 ns

光束尺寸（FWHM，V x H）：35 ± 4 x 14.5 + 3 / - 6 mm²

光束發(fā)散（FWHM，V x H）：4.5 ± 1 x 1.0 ± 0.3 mrad²

重量：≤ 4400 kg；9700 磅

冷卻：水，Max 2 x 70 升/分鐘（2 x 18.5 gal./min），10 至 13 ℃

電氣：2 x 36 kVA，三相，400 VAC，50 或 60 Hz

尺寸（長(cháng)x寬x高）：2800 x 1700 x 1720 mm；110.0 x 66.9 x 67.7 英寸

激光退火