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大多數具有競爭力的模塊化氣體輸送系統都受到端口、限流器、堵頭或頂蓋等兼容配件供應的限制。Ichor 是一家能提供全系列兼容表面貼裝配件的制造商,這些配件既有表面貼裝配置,也有夾層配置,幾乎可以滿(mǎn)足任何材料的要求??蛻?hù)須確保所選部件是適合其防護性能的適當部件,同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統的材料兼容性、操作條件、正確安裝等。
模塊化限流器
1.500" C 型密封
2 端口,中央
316L SST SEMI F20 VIM/VAR
更高純度
限流器訂購:
請注明孔徑或以下信息:氣體類(lèi)型、流速、入口壓力和出口壓力,以便 Ichor 確定合適的直徑。對于直徑大于 0.005 英寸的限流器,其測試和認證結果為額定流量的 +/- 5 %。直徑小于 0.005 英寸時(shí),變化幅度可能更大。
產(chǎn)地:美國
產(chǎn)品系列:MFR
配置:中央
零件類(lèi)型:模塊式限流器
底座尺寸:1.500 英寸
密封類(lèi)型:C 形密封
端口數:2-端口
閥體材料:316L SST semi F20 VIM/VAR
純度等級:更高純
潤濕表面處理:5 ra
清洗:超聲波清洗和電拋光
流體輸送、半導體、制造業(yè)、集成解決方案
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