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Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規、模塊化隔膜閥、模塊化計量閥和止回閥,其性能和純度均達到或超過(guò)所有行業(yè)標準。我們的常規隔膜閥 (CDV) 系列可為常規安裝系統提供高可靠性和價(jià)值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專(zhuān)為模塊化表面安裝系統而設計。我們所有閥門(mén)的設計均符合 SEMI 規范,具有良好的可靠性和性能,并與市場(chǎng)上所有競爭系統兼容??蛻?hù)須確保所選部件是符合其防護性能的適當部件,同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。
模塊化止回閥
1.500" HF C 型密封
3 端口,側面
316L SST SEMI F20 VIM/VAR
標準表面處理
純度
材料
配置
端口數
密封類(lèi)型
底座尺寸
產(chǎn)地:美國
工作壓力:3000 psig
零件類(lèi)型:組合式止回閥
配置:側面
表面處理:16 Ra
工作溫度:-28 至 200 ℃(20 至 400 ℉)
彈簧材料:ELGILOY
底座尺寸:1.500" HF
密封類(lèi)型:C 形密封
端口數:3 端口
閥體材料:316L SST semi F20 VIM/VAR
純度等級:標準表面處理
清潔:電拋光和鈍化
爆破壓力:12000 psig
密封材料:氟橡膠
流體輸送、半導體、制造業(yè)、集成解決方案
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