INTELLIDRIVES開(kāi)放式 XY 旋轉平臺XY-OF-UL-200X200+ACR160UT

集成系統將線(xiàn)性或 XY 平臺與轉臺相結合，提供交鑰匙解決方案。 平臺可配備直接驅動(dòng)直線(xiàn)電機或基于滾珠絲杠的機械裝置。

開(kāi)放式 XY 旋轉平臺設計用于半導體制造行業(yè)中的晶圓處理和許多其他自動(dòng)化定位應用。 位于單元側面的 XY 驅動(dòng)機構和大型中心通孔轉臺提供了清晰通暢的晶圓訪(fǎng)問(wèn)。

XY臺：XY-OF-UL-200x200

旋轉臺：ACR-160UT

電機類(lèi)型：無(wú)刷伺服電機/編碼器（標準）

直線(xiàn)伺服電機（選件）

XY行程：200 x 200 mm

中心孔徑：直徑160 mm

分辨率（線(xiàn)性）：1 micron（注 1,2）

2.5 micron（注3）

分辨率（旋轉）：1.4 arc-sec

重復性（線(xiàn)性）：5 micron（注3）

1 micron（注 1,2）

重復性（旋轉）： 2 arc-sec

速度：400mm/sec（注 3）

800mm/sec（注2）

負載重量： 30 kg

載物臺重量：16 kg

（注1）帶線(xiàn)性編碼器（可選）

（注2）直線(xiàn)伺服電機（可選）

（注 3）滾珠絲杠 10 mm 導程，無(wú)刷伺服驅動(dòng)