BOC EDWARDS低溫泵ON-BOARD IS 320FX

On-Board IS 320FX 低溫泵專(zhuān)為應對當今離子注入工藝的挑戰而開(kāi)發(fā)，可提供更高的氫氣泵送速度和容量，同時(shí)保持您對 On-Board的所有質(zhì)量、性能和可靠性?xún)?yōu)勢 IS 320FE 低溫泵。On-Board IS 320FX 低溫泵旨在提供高的氫氣真空抽速和容量，以提高產(chǎn)品產(chǎn)量和工具產(chǎn)量。 基于 Edwards 廣泛的低溫泵設計知識，該低溫泵優(yōu)于所有其他同等尺寸的泵，同時(shí)符合嚴格的準則。智能系統控制提供更好的工藝質(zhì)量、真空一致性和正常運行時(shí)間，同時(shí)提供實(shí)時(shí)系統知識以?xún)?yōu)化電機速度和低溫溫度。針對不斷變化的熱/氣體負載條件的自動(dòng)調整增強了真空一致性并縮短了晶圓間的恢復時(shí)間。On Board IS 320FX 還可以針對工藝相關(guān)涂層的堆積進(jìn)行調整，而不會(huì )影響可靠性或生產(chǎn)力。 

• 專(zhuān)為離子注入應用而設計
• 智能自調節技術(shù)
• 擁有成本更低
• 增加正常運行時(shí)間

• 氫氣容量:30L /40L
• 分頻器：300 Torr-L
• ISO 真空法蘭內徑：12.6 英寸（320 毫米）