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GPC3000壓力流量控制器主要為電容壓力計提供電源(±15VDC),接收并顯示來(lái)自它的壓力信號,連接節流閥,并使用PID或自整定功能控制壓力。其中,如果使用自整定功能,則通過(guò)檢測流入腔室的氣體量、泵速、閥位引起的真空壓力變化等重要參數來(lái)獲取壓力控制因素。如果用戶(hù)使用此功能來(lái)控制壓力,可以更快地達到所需壓力。內置兩個(gè)過(guò)程限位繼電器,幫助用戶(hù)設備過(guò)程。
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