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MS2002+ 是一款基于微機械硅芯片、用于信號調節的 ASIC 和用于存儲校準數據的 EEPROM 的三軸加速度計。MS2002+ 的小尺寸、堅固的防濺設計和良好的長(cháng)期穩定性使 MS2002+ 成為核電廠(chǎng)和其他應用中地震監測的匹配。Syscom 的 MS2002+ 出廠(chǎng)時(shí)已校準,配備自檢功能,無(wú)需重新校準。通過(guò)優(yōu)化傳感器結構,進(jìn)一步改進(jìn)了硅微加工電容傳感器的成熟技術(shù)。 將電子器件集成到特定應用的 IC 中會(huì )產(chǎn)生一個(gè)小型高精度加速度計,它顯示出類(lèi)似于集成電路的環(huán)境和可靠性性能。 這種加速度計是三軸裝置,非常適合地震儀器。
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