ENTEGRIS氣體擴散器Chambergard FV50D XL

FV50D XL 擴散器是通過(guò)小化負載鎖定排氣周期時(shí)間來(lái)可靠地增加系統吞吐量的選擇。 這款二代擴散器可以承受更高的工作壓力 (60 psig)，額定循環(huán)次數為 100 萬(wàn)次，從而大大提高了性能并降低了擁有成本。 我們的 Chambergard系列產(chǎn)品可快速排放到大氣中，而不會(huì )干擾腔室中的晶圓或向晶圓添加顆粒。 它們將擴散器的流動(dòng)特性與過(guò)濾器相結合，以提高吞吐量。 憑借我們的全球基礎設施，我們可以提供 Chambergard 快速排氣擴散器，以滿(mǎn)足您在全球范圍內的需求。

額定循環(huán)次數為 1,000,000 次，設計用于在更高的入口壓力下運行

緊湊型擴散器單元中的燒結鎳技術(shù)可在所有應用中提供良好的性能

從進(jìn)入的氣體中去除大于 0.0015 µm 的顆粒，大限度地減少晶圓缺陷

易于安裝/改裝到現有工具中，大限度地減少停機時(shí)間