ENTEGRIS比例控制閥NT6300

NT 6300 型比例控制閥專(zhuān)為高的純度應用而開(kāi)發(fā)。 該閥與高腐蝕性工藝兼容，專(zhuān)為 CMP 漿料應用而設計，是解決當今流量控制需求的理想選擇。 該閥門(mén)采用 PFA 和 PTFE 用于接液部件，惰性材料用于非接液部件，可耐受惡劣的化學(xué)環(huán)境和外部噴射。 采用新的電機驅動(dòng)技術(shù)，內部電子控制閥門(mén)步進(jìn)電機的各個(gè)方面。 閥門(mén)使用 Entegris 的算法設計驅動(dòng)，以保持所需的設定值。

用于高的純度應用和耐腐蝕的 PTFE 潤濕表面

用于密封和污染保護的雙隔膜結構

使用我們先進(jìn)的算法設計來(lái)驅動(dòng)閥門(mén)以保持所需的設定值

優(yōu)化閥座和隔膜設計，大限度地減少死體積和流體剪切；從全關(guān)到全開(kāi)的可靠控制

占地面積小，可在有限空間內輕松進(jìn)行現場(chǎng)安裝