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ENTEGRIS空氣過(guò)濾器CMP

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產(chǎn)品介紹

CMP化學(xué)空氣過(guò)濾器對 22 nm 及以下波長(cháng)的各種空氣分子污染物提供全面保護。保護工藝設備和晶圓免受空氣分子污染的破壞性影響。

性能特點(diǎn)

  • 防止 22 nm 及以下的 AMC
  • 針對酸性污染物的平衡介質(zhì)混合
  • 去除關(guān)鍵的酸、堿和有機物以降低污染風(fēng)險

技術(shù)參數

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