WASCO真空傳感器Barracuda

Wasco的Barracuda系列高純度(UHP)傳感器專(zhuān)為在苛刻的市場(chǎng)應用中需要檢測腐蝕性介質(zhì)的應用而設計。這些傳感器非常適合檢測氣體或液體介質(zhì)，而不會(huì )對過(guò)程介質(zhì)造成污染。該系列非常適合要求在高精度、嚴格公差應用中檢測腐蝕性介質(zhì)的系統。

我們?yōu)橄乱淮雽w加工設備中的高腐蝕性環(huán)境設計了這些傳感器。梭魚(yú)系列的額定應用周期超過(guò)10，000，000。梭魚(yú)擁有滿(mǎn)足或超過(guò)SEMI F20 (UHP)的材料，臨界點(diǎn)蝕溫度性能> 35℃。所有傳感器都經(jīng)過(guò)氦泄漏測試，達到每SEMI F1≤1 x 10-9標準立方厘米/秒氦。

煤氣箱

IGS氣體面板

氣體分配系統

閥門(mén)歧管箱

蝕刻和沉積系統