WASCO壓力開(kāi)關(guān)UC9

UC9 系列采用 Wasco 專(zhuān)有的制造方法和 Elgiloy 隔膜。它具有高純度和高耐腐蝕性。其全焊接結構消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇，精度高，公差小。我們設計的這些開(kāi)關(guān)適用于下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環(huán)境。UC9 系列的額定 95B2 應用周期超過(guò) 2,000,000 次。UC9 系列可提供符合或超過(guò) SEMI F20 UHP 要求的材料選擇。根據 SEMI F1，所有開(kāi)關(guān)的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。

適用于下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環(huán)境

額定 95B2 應用周期超過(guò) 2,000,000 次

通過(guò)了 SEMI F1 ≤ 1 x10^-9 std cc/sec 的氦氣泄漏測試

UC9-A：激活點(diǎn)范圍：壓力_abs 20 至 200 Torr

UC9-G：激活點(diǎn)范圍：0.5 至 3.5 PSIG 壓力表壓力

典型 UC9，帶 1/4" 外螺紋端面密封和 M8 3 針（可提供其他配置）

可提供更高的額定溫度

可提供其他材料

可提供其他激活范圍

可提供更高壓力

產(chǎn)地：美國

激活點(diǎn)范圍：20 至 200 Torr（壓力_abs)

復位帶：10 Torr + 啟動(dòng)點(diǎn)的 6 %（典型值）

激活點(diǎn)公差：+/- 5 Torr +2 %激活點(diǎn)（典型值）

耐壓：100 PSIG

爆破壓力：1000 PSIG Min

工藝接口：316L SS

符合標準：SEMI F20 UHP

隔膜：埃爾吉洛伊（Elgiloy）

內表面光潔度：5 Ra

工作溫度：-20 至 60 ℃(-4至 140 °F)

非工作溫度：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）

預期壽命：≥ 1,000,000 次 95B2（視應用而定）

防護等級：IP 67（Abs配置）

泄漏率：氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

Max額定電流：1 A

交流/直流電壓：115/ 28 V

觸點(diǎn)材料：金

氣箱、IGS 配氣盤(pán)、配氣系統、閥組箱體、蝕刻和沉積系統