SENS4真空傳感器VPM-5

VPM-5 SmartPirani 真空傳感器基于新型技術(shù)，具有同類(lèi)更好的性能，將熱導真空計的可用真空測量范圍擴大了 1-3 倍，從而確立了新的性能標準。SmartPirani 真空測量傳感器采用 MEMS（微機電系統）傳感器技術(shù)，并結合了 Sens4 自身的新型數字信號處理架構和創(chuàng )新測量算法。結合準密的自動(dòng)化制造和校準流程，這款產(chǎn)品可提供無(wú)懈可擊的測量性能。通過(guò)集成 MEMS 隔膜傳感器，消除了熱導率真空計在粗真空范圍內眾所周知的氣體依賴(lài)性，其精度性能可與更昂貴的電容式壓力計媲美。這一特性可確保對真空系統排氣過(guò)程進(jìn)行更準確的控制，并可防止真空系統過(guò)壓。

從 1.0E-6 到 1333  mbar，9 個(gè)分度的超寬測量范圍

性?xún)r(jià)比高

氣體獨立測量范圍從 2 到 1 333  mbar

通過(guò) USB 編程器輕松配置

0-10 VDC 可編程電壓輸出

數字 RS-232 或 RS-485 接口

引腳和輸出與其他供應商的壓力表兼容

可選陶瓷或聚對二甲苯傳感器保護，用于腐蝕性應用

可選固態(tài)設定點(diǎn)繼電器，用于外部控制

產(chǎn)地：丹麥

測量范圍（mbar）：1x10^-6 至 1333  mbar（7.5x10^-7 至 1000 托）

測量原理 1x10^-6 至 1.5 mbar：MEMS Pirani 熱導率

測量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 壓電讀數

測量原理 2 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片

精度 1x10^-5 至 9.99x10^-5：讀數的 25%

精度 1x10^-4 至 7.99 mbar：讀數的 5%

精度 8.00 至 99.9 mbar：讀數的 1%

精度 100 至 800 mbar：讀數的 0.5%

精度 800 至 1099 mbar：讀數的 0.25%

精度 1100 至 1333  mbar：讀數的 0.5%

滯后 1x10^-3 至 10 mbar (IS019685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1333 mbar（IS019685:2017）：0.1%

模擬輸出分辨率：16 位 (150 μV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應時(shí)間（ISO 19685:2017）：<20 ms

溫度補償：+10 至 +50 °C

固態(tài)繼電器設定點(diǎn)范圍：5x10^-6 至 1333  mbar（3.75x10^-6 至 1000 托）

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值：50 V、100 mA_rms / mA_Dc

固態(tài)繼電器認證：UL 認證： 文件 E76270；CSA 認證： 證書(shū) 1175739；EN/IEC 60950-1 認證

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 °C

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 °C

存儲環(huán)境溫度：-40 至 +120 °C

烘烤溫度（非工作）：+120 °C

Max ABS介質(zhì)壓力：10 Bar

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度：98%，無(wú)冷凝

電源電壓：12-30 VDC

Max功耗：240 mW

反極性保護：是

過(guò)壓保護：是

內部保險絲：100 mA（可熱恢復）

分析儀器、半導體加工、真空爐、薄膜鍍膜、太空模擬和飛行