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美國布魯克斯Brooks Instruments流量控制器GF125系列特性
GF125系列采用金屬密封的熱質(zhì)量流量控制器和儀表?yè)碛羞@一切的MFC。
超快速的響應時(shí)間和純度的很高水平 - 的GF125系列的第二代多變量,壓力瞬變不敏感(PTI),金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表。帶上PTI質(zhì)量流量控制技術(shù),市場(chǎng),GF125最小化處理氣流的變化,由于壓力和溫度的波動(dòng)。標準MultiFlo?技術(shù)使一個(gè)MFC支持數千個(gè)氣體的類(lèi)型和范圍的組合而不脫離氣體管線(xiàn)移除或犧牲精度。
其結果是:小型,低成本氣板,通過(guò)消除使用壓力調節器,壓力傳感器點(diǎn)的需要,和相關(guān)硬件,具有業(yè)界很佳的PTI性能相結合,以最大限度地提高產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。
特征
每年<±0.5%滿(mǎn)量程長(cháng)期零點(diǎn)穩定性
超快速建立時(shí)間:300毫秒 - <700毫秒
滿(mǎn)量程流量可達300 SLPM
超高純度流動(dòng)路徑 - 4μ寸鐳表面光潔度
SEMI F20標準的濕材料
高速ARM處理器耐腐蝕哈氏合金T-崛起傳感器
快速作用,無(wú)隔膜閥組件是由壓力差的影響,并且測試了超過(guò)七百萬(wàn)次循環(huán)沒(méi)有發(fā)生任何故障
何首烏技術(shù)提供了無(wú)與倫比的靈活性,一臺設備可以設置為成千上萬(wàn)種不同氣體和流量范圍的配置,而不??從氣體行移除MFC或影響精度
當地顯示指示流量,溫度,壓力和網(wǎng)絡(luò )地址用于氣體供給和隔離閥問(wèn)題的簡(jiǎn)單的故障診斷
可選的高精度配置
DeviceNetTM,RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
優(yōu)點(diǎn)
通過(guò)與快動(dòng)膜片免費閥組件結合布魯克斯的專(zhuān)利流量傳感器技術(shù),GF125系列比起來(lái)其他質(zhì)量流量控制器可提供3倍的速度響應和穩定時(shí)間
對于改善的干式優(yōu)化濕潤流路
與MultiFloTM,MFC滿(mǎn)刻度流量范圍可以被重新按比例縮小通常由3倍:1與由規格上精度,量程或泄漏沒(méi)有影響,對于很佳的工藝和庫存靈活性
一個(gè)完整的數據庫氣體提供最廣泛的工藝氣體覆蓋
壓力瞬變不敏感(PTI)功能,克服了強烈的反應,小進(jìn)氣壓力波動(dòng)傳統的微生物燃料電池的限制。其結果是穩定的性能和可預測的準確性。
GF125高精度(HA)具有卓越的低精度的設定值能夠與一個(gè)替代兩個(gè)(高,低流量)質(zhì)量流量控制器,提供了直接的成本節省,同時(shí)釋放氣體線(xiàn)更大的氣體面板的靈活性。
方便用戶(hù)的顯示和獨立的診斷/服務(wù)口岸艾滋病設備安裝,監控和故障排除
主要應用
半導體
MOCVD
需要高純度的全金屬流路的氣體流量控制應用
美國B(niǎo)rooks Instruments(布魯克斯)作為EMERSON(艾默生)旗下的一子公司,專(zhuān)門(mén)從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗,Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)(壓力控制器、壓力表、壓力變送器等)。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
上海連航機電科技有限公司是國內專(zhuān)業(yè)的進(jìn)口機電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專(zhuān)注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進(jìn)口備品備件,提供過(guò)程控制技術(shù)咨詢(xún),工業(yè)自動(dòng)化集成設計與改造,成套設備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應用及產(chǎn)品供應服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線(xiàn)性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等,歡迎來(lái)電咨詢(xún)。
為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐,保障全產(chǎn)業(yè)鏈一體化工業(yè)服務(wù)水平,連航分別在德國和美國設有公司和倉儲中心,自此建立了對歐美先進(jìn)工業(yè)品與工業(yè)技術(shù)大規模引進(jìn)的高速通道。憑借的全球采購能力和工廠(chǎng)直采加產(chǎn)品集散帶來(lái)的二度成本壓縮,連航擴大了在業(yè)內的先進(jìn)優(yōu)勢,終端服務(wù)效率與水平與日俱增。
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