美國B(niǎo)rooks Instruments（布魯克斯）熱質(zhì)量流量計GF100說(shuō)明
通過(guò)結合布魯克斯的專(zhuān)利流量傳感器技術(shù)與高速ARM處理器，快速的動(dòng)膜片免費閥門(mén)裝配時(shí)，GF100系列提供高達3倍的速度相對于其他的質(zhì)量流量的響應和穩定時(shí)間控制器，可實(shí)現：
通過(guò)減少非生產(chǎn)性的流動(dòng)改進(jìn)晶片的產(chǎn)量解決步驟
超快需要1-2秒的蝕刻步驟的關(guān)鍵蝕刻工藝
減少分流天然氣消費量和相關(guān)的減排成本
在原子層沉積時(shí)間敏感的氣體輸送步驟
對于需要一個(gè)緩慢的過(guò)程憋足氣的開(kāi)啟或時(shí)間流量之間的關(guān)鍵過(guò)渡。用戶(hù)可編程斜坡函數被提供

MultiFlo?MultiFlo氣體和范圍可配置比傳統的單點(diǎn)氣體的一個(gè)重大進(jìn)步換算系數，布魯克斯MultiFlo技術(shù)，可提供高達一三次改進(jìn)工藝氣體精度。這是通過(guò)優(yōu)化，通過(guò)先進(jìn)的燃氣建模實(shí)現實(shí)際氣體測試非線(xiàn)性氣體提供補償。MultiFlo還允許設備可以快速，輕松地配置為沒(méi)有其他氣體和/或流量范圍犧牲準確性或rangability。選擇一個(gè)新的氣體
自動(dòng)創(chuàng )建一個(gè)新的標準曲線(xiàn)，建立動(dòng)態(tài)控制進(jìn)行了優(yōu)化PID設置，自動(dòng)補償氣體密度的影響，并確保平穩，流量之間的超調，無(wú)過(guò)渡具有優(yōu)良靜態(tài)穩定。
布魯克斯MultiFlo技術(shù)提供了無(wú)與倫比的靈活性;一個(gè)單個(gè)設備可以編程為數千種不同的氣體和流量范圍配置。重新編程簡(jiǎn)單，快捷;新的燃氣和范圍可以可在30秒編程研究。布魯克斯提供了一個(gè)完整的氣體數據庫，以確保MultiFlo的真正價(jià)值實(shí)現：
大大降低了庫存成本
質(zhì)量流量控制器滿(mǎn)量程流量范圍可以再縮小通常通過(guò)3倍：1的對精度沒(méi)有影響，翻折或規格泄露，很佳工藝和庫存靈活性
最多支持典型要求的少40％配置蝕刻和CVD工藝經(jīng)文我們最接近的競爭對手
通過(guò)廣泛的氣庫最廣泛的工藝氣體覆蓋
質(zhì)量流量控制器可以被替換在只有幾分鐘
現成的備件可編程性能夠快速的過(guò)程復蘇
用于研究應用最大的靈活性
美國B(niǎo)rooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專(zhuān)門(mén)從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
上海連航機電科技有限公司是國內專(zhuān)業(yè)的進(jìn)口機電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專(zhuān)注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進(jìn)口備品備件，提供過(guò)程控制技術(shù)咨詢(xún)，工業(yè)自動(dòng)化集成設計與改造，成套設備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應用及產(chǎn)品供應服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線(xiàn)性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來(lái)電咨詢(xún)。
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