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美國B(niǎo)rooks Instruments(布魯克斯)數字式質(zhì)量流量控制器GF135實(shí)時(shí)流錯誤檢測

閱讀次數:1642    發(fā)布時(shí)間: 2015-11-04 09:53:00

美國B(niǎo)rooks Instruments(布魯克斯)數字式質(zhì)量流量控制器GF135實(shí)時(shí)流錯誤檢測
在流量傳感器導致更高的工藝污染堆積比表示實(shí)際流量。在這個(gè)過(guò)程中堆積的污垢限流器的結果比顯示實(shí)際流量低。流程污染上的閥孔或座導致泄漏過(guò)去閥。所有這些情況可能導致丟失的晶圓成本數千人。當使用一個(gè)標準的MFC,這些錯誤不能無(wú)需停止生產(chǎn)運行流程檢查檢測。該GF135擁有正在申請專(zhuān)利的實(shí)時(shí)流量錯誤檢測和用率衰減的(ROD)技術(shù),是免疫的趨勢典型的MFC破壞/退化模式,確保準確,可靠的診斷能力。經(jīng)過(guò)基線(xiàn)建立在工具啟動(dòng),該GF135可以檢測流量的變化,漂移和泄漏率。
安裝GF135后,一個(gè)調試例程創(chuàng )建一在實(shí)際工藝條件下的性能基準。在晶圓處理過(guò)程中,設備會(huì )自動(dòng)流量誤差檢測在每一個(gè)新的過(guò)程設置點(diǎn)的讀數,并將結果進(jìn)行比較基線(xiàn)。專(zhuān)有桿測量技術(shù)暫時(shí)停止從工具上游輸送氣體的供給,同時(shí)保持在流進(jìn)處理室所需流量。高精度壓力測量而氣體被從入口容積和一個(gè)貧采取先進(jìn)的信號處理算法計算ROD流速即時(shí)的。之前流至處理受減少壓力,上游供應重新建立與沒(méi)有擾動(dòng)的交付流程。通過(guò)計算在流量在晶片處理期間各種設定點(diǎn)時(shí),MFC檢測到任何傳感器或旁路堵塞。它還檢測如果傳感器偏移由于堵塞和漂移明顯的影響發(fā)展本身不同在不同的設定點(diǎn)。同樣的方法是使用時(shí),MFC給出一個(gè)零設定值計算閥門(mén)泄漏。這使得MFC測量零點(diǎn)。本MFC可舉報閥門(mén)泄漏,傳感器偏移和流過(guò)一個(gè)偏移量工具記錄接口協(xié)議,以及自動(dòng)更正本身如果用戶(hù)開(kāi)啟該功能。很后,在MFC將該數據存儲為一年可以使用歷史數據的變化情況。通過(guò)提供流量變化自動(dòng)監控,GF135能夠與晶片的實(shí)時(shí)警告臂用戶(hù)影響流動(dòng)偏差。


超快響應
通過(guò)結合布魯克斯的專(zhuān)利流量傳感器技術(shù)與高速ARM處理器,快速的動(dòng)膜片免費閥門(mén)裝配時(shí),GF系列提供高達3倍的速度響應和穩定時(shí)間相比其他質(zhì)量流量控制器,
實(shí)現:
?通過(guò)減少非生產(chǎn)性的流動(dòng)改進(jìn)晶片的產(chǎn)量解決步驟
?嚴重腐蝕和3D需要超快分裝置流程500毫秒蝕刻步驟
?減少分流天然氣消費量和相關(guān)的減排成本
?在原子層沉積時(shí)間敏感氣體輸送步驟(ALD)
?進(jìn)程需要一個(gè)緩慢的斜坡氣體導通或時(shí)間流量與用戶(hù)之間的關(guān)鍵過(guò)渡可編程的斜坡函數
美國B(niǎo)rooks Instruments(布魯克斯)作為EMERSON(艾默生)旗下的一子公司,專(zhuān)門(mén)從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗,Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)(壓力控制器、壓力表、壓力變送器等)。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
上海連航機電科技有限公司是國內專(zhuān)業(yè)的進(jìn)口機電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專(zhuān)注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進(jìn)口備品備件,提供過(guò)程控制技術(shù)咨詢(xún),工業(yè)自動(dòng)化集成設計與改造,成套設備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應用及產(chǎn)品供應服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線(xiàn)性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等,歡迎來(lái)電咨詢(xún)。
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