ENTEGRIS濃度監測儀InVue CR288

帶有 288-connect軟件包的 InVue CR288 濃度監測器可提供使用點(diǎn)化學(xué)品/混合混合、加標和稀釋的實(shí)時(shí)信息，而不會(huì )干擾或中斷過(guò)程。 基于 PC 的圖形用戶(hù)界面和 LCD 顯示屏集成了數據收集、分析和現場(chǎng)校準以及方便、可擴展的數據界面和采集選項。 光學(xué)系統計算實(shí)時(shí)濃度和溫度補償數據，所有這些都是為了提高生產(chǎn)率。CR288 濃度監測器采用創(chuàng )新的折射率技術(shù)，采用緊湊靈活的配置。該測量基于過(guò)程流體中光的折射，從而產(chǎn)生了一種準確和可重復的液體濃度測量方法。在線(xiàn)傳感器準確地測量折射率和過(guò)程流體的溫度。該信息通過(guò)互連電纜傳輸到遠程數字顯示單元 (DDU)。 DDU 使用此信息以及用戶(hù)定義的特性來(lái)計算過(guò)程流體的濃度。 DDU 在液晶顯示屏 (LCD) 屏幕上顯示折射率、溫度和濃度。它還輸出 4 至 20 mA 和 RS-232 信號，可用作過(guò)程控制器的輸入。

通過(guò)折射率 (IoR)，這款具有成本效益的高性能濃度監測器可提高監測 BEOL、FEOL 和次晶圓廠(chǎng)化學(xué)品混合和輸送系統的工藝效率

該裝置占地面積小，可方便地直接安裝在工藝化學(xué)品中