ENTEGRIS集成流量控制器InVue6550

Entegris 正在使用創(chuàng )新的流量控制技術(shù)解決當今的流量控制挑戰。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專(zhuān)為散裝化學(xué)品流量控制而設計。 IFC 6550 型設計的流速為 60、90 或 120 L/min，非常適合用于次晶圓廠(chǎng)散裝化學(xué)品輸送應用以及需要高流量的液體處理系統。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過(guò)程控制。 視覺(jué)指示器為預防性維護、故障排除和警報狀況提供診斷，使用戶(hù)能夠集成更多的過(guò)程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設計用于超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 漿料應用。 它還設計用于控制氣泡產(chǎn)生介質(zhì)。

• 使用成熟可靠的差壓流量測量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過(guò)程控制
• 視覺(jué)指示器為預防性維護、故障排除和警報狀況提供診斷
• 集成壓力傳感器提供額外的過(guò)程信息
• 使用氣泡產(chǎn)生介質(zhì)經(jīng)過(guò)驗證的測量和控制
• 堅固的設計提供穩定性和長(cháng)期可靠性
• 設計為 60、90 或 120 L/min流速