SWAGELOK熱浸式隔膜閥DH

DH 系列熱浸式隔膜閥專(zhuān)為需要將閥門(mén)完全包含在高溫、高純度環(huán)境中的應用而設計，例如原子層沉積 (ALD) 和前體輸送應用。其完全包含的高純度級 PFA 閥座提供了廣泛的化學(xué)兼容性以及抗膨脹和抗污染性。體內完全掃過(guò)的流路減少了截留面積并提高了流動(dòng)能力。高達 0.60 的流量系數、各種 1/4 和 3/8 英寸的端接，以及氣動(dòng)和手動(dòng)驅動(dòng)模型——常閉執行器能夠使閥門(mén)打開(kāi)或關(guān)閉時(shí)間小于 5 毫秒——可用于 滿(mǎn)足廣泛的系統需求。該閥門(mén)設計用于在 220°C (428°F) 下實(shí)現良好性能。

使用連續監測的去離子水超聲波清洗系統進(jìn)行高純度清洗

在 ISO 4 級工作區域執行； 閥門(mén)采用雙層袋裝，真空密封在潔凈室袋中

潤濕表面粗糙度 (Ra)：電拋光并精加工至平均 5 µin。 (0.13 微米)