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產(chǎn)品介紹
用于雙激光故障注入的 D-LMS 顯微鏡站是一個(gè)平臺，允許獨立聚焦和掃描兩個(gè)激光點(diǎn)，用于集成電路的評估。雙點(diǎn)注射工藝的理想選擇，它提供了所有空間和時(shí)間的靈活性，可以通過(guò)背面分析電路
性能特點(diǎn)
集成電路評估雙激光站(均通過(guò)顯微鏡點(diǎn))
背面激光故障注入的理想選擇
具有高分辨率物鏡的1米以下單模激光光斑尺寸
兩個(gè)激光光斑都具有完全獨立的時(shí)間和空間調制
通過(guò)數百米的硅來(lái)觀(guān)察集成電路路徑上的激光點(diǎn)的照相機
高再現性和高分辨率激光光斑位移
包括三個(gè)阿爾法諾夫激光模塊
可選功能與配件
光學(xué)鏡頭技術(shù)
光電發(fā)射套件
熱激光刺激套件
通過(guò)CE認證的激光外殼完成自動(dòng)設置
高分辨率目標
技術(shù)參數
單模光纖激光器
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PDM+/PDM+ HP |
PDM4+ and PDM4+ HP |
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脈沖持續時(shí)間 |
從1.5納秒到連續波 |
從1.5納秒到連續波 |
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峰值功率 |
高達3.2瓦 |
高達10瓦 |
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波長(cháng) |
980納米；1064牛米 |
980納米；1064牛米 |
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重復率 |
從單發(fā)到250兆赫 |
從單發(fā)到250兆赫 |
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命令接口 |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
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光束質(zhì)量 |
單模 |
單模 |
InGaAs 紅外相機
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Captor |
640x512 µm |
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動(dòng)態(tài)量程 |
140 dB |
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接口 |
USB(包含軟件) |
電學(xué)
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電壓 |
220 V/110 V |
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電流 |
16 A |
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
